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产品介绍
产品介绍
Crux 300 设备是拓 ？萍甲灾餮蟹⒓暇潮Р馍璞，利用于混合键合领域，适配W2W和D2W键合精怀抱测场景，可实现混合键合后的套准精怀抱测，占有高精度、高产能和无盲区量测三大特点。设备所有机能指标均已达到国内同类产品水平。
- 8英寸/12英寸晶圆适配
- 基于红表光透射式或反射式量测技术
- W2W和D2W混合键合场景兼容
- 幼于3nm的超高量测精度和不变性
- 最大300mm领域内无穷测盲区
- 高吞吐量和低CoO
