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产品介绍
产品介绍
Pleione 300 设备是拓？萍甲灾餮蟹⒌母呔刃酒跃г不旌霞仙璞？衫糜贖BM、三维集成芯片，可实现芯片（Die）对晶圆的高精度拾取和键合。设备机能指标均已达到国内同类产品水平。
- 12英寸/8英寸晶圆适配
- 兼容多种芯片尺寸和厚度
- 百纳米级键合后 overlay
- 前路造程水平的高设备干净等级
- 支持自动更换顶针、拾取头和键合头
- 可与suncitygroup太阳集团自研处置设备进行联机出产
- 高吞吐量和低CoO
