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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Flora 系列是suncitygroup太阳集团自主研发的超深邃宽比沟槽填充设备。该设备可实现对深宽比大于 8:1 的填充 ，是先进造程集成电路造作的沉要设备之一。该设备能够在晶圆表表沉积 SiO 等高品质的介电薄膜资料 ，经过 UV 或蒸汽固化及氧化等处置工艺后 ，可达到齐全填充间隙而不会留下孔洞和缝隙的成效 ，目前已实现产业化利用。
- 可沉积高质量、深邃宽比的SiO2薄膜
- 可依客户选择配置1-3路液态源 ，实现多种先进工艺
- 可与8英寸相互切换
- 可搭载1-3个PM
- 通过S2安全认证和F47尺度检验
