suncitygroup太阳集团

产品介绍

产品介绍：PF-300T Bianca 系列是suncitygroup太阳集团自主研发的晶圆背部薄膜沉积设备（Backside Deposition）Ｄ芄辉诰г脖趁娉粱齋iN、SiO 等介质薄膜资料，通过应力调节实现对晶圆翘曲的纠正以及晶圆背面的；。该设备能够实此刻不使用翻片工艺、不使用去边工艺的情况下对晶圆背面进行薄膜沉积，削减集成电路造作的工艺步骤、提升产品良率、降低客户成本。

产品特点
- 可兼容低和善高温工艺，高温可达550℃
- 高应力调节领域实现精准晶圆翘曲曲率节造
- 具备应力分区调节职能，可矫捷调节分歧晶圆翘曲状态
- 拥有优良的颗粒度和均匀性
- 薄膜去边宽度可定造化
- 通过S2安全认证和F47尺度检验